2025年2月13日,EDP公司宣布成功開(kāi)發(fā)了30×30mm以上世界*大型的單晶金剛石,并將推出30×30mm及以下的單晶基板。該公司將開(kāi)發(fā)的大型單晶作為母晶體,并使用其獨(dú)有的離子注入分離技術(shù)進(jìn)行同尺寸單晶的量產(chǎn)。
此次推出的單晶基板,尺寸從15×15mm至30×30mm,厚度為0.05~3mm,面取向?yàn)椋?00),偏角約為3度,氮含量低于8ppm,X射線洛基曲線半值寬度在20~80arcsec范圍內(nèi)(與傳統(tǒng)產(chǎn)品相當(dāng))。目前,EDP已發(fā)布了15×15mm尺寸的單晶基板,而較大尺寸的基板之前一直是通過(guò)將多個(gè)單晶拼接形成馬賽克晶體提供的。而今,30×30mm的單晶基板也將實(shí)現(xiàn)商業(yè)化。
此外,EDP計(jì)劃在2025年4月末推出1英寸(直徑25mm)的單晶金剛石晶圓。與半英寸(直徑12.5mm)的晶圓相比,1英寸晶圓的面積將是其四倍,可以在同一晶圓上制造更多的設(shè)備。為了進(jìn)一步提升產(chǎn)品質(zhì)量,公司將繼續(xù)優(yōu)化表面粗糙度、波紋以及邊緣形狀等各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)。
由于單晶金剛石具有物質(zhì)中*高的熱導(dǎo)率,預(yù)計(jì)將被廣泛應(yīng)用于電子設(shè)備等領(lǐng)域,作為高效的散熱器來(lái)消除設(shè)備產(chǎn)生的熱量。因此隨著大尺寸晶圓的生產(chǎn),預(yù)計(jì)金剛石散熱器的成本將進(jìn)一步降低。
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