1月17日，工業(yè)和信息化部辦公廳發(fā)布關于組織開展2025年未來產業(yè)創(chuàng)新任務揭榜掛帥工作的通知。內容涵蓋量子科技、原子級制造、清潔氫三大部分。其中原子級制造揭榜掛帥任務榜單中部分內容涉及原子級超光滑金剛石表面制造和石墨烯熱界面材料。
原子級制造揭榜掛帥任務榜單
二、重點產品（一）多場輔助化學機械原子級拋光裝備揭榜任務：面向半導體襯底原子尺度拋得光、納米尺度拋得平、微米尺度拋得快的高質高效加工需求，研究電、光、聲、等離子體等多場輔助化學機械原子級去除工藝，突破多場輔助協同調控、超低壓力分區(qū)加壓、測量反饋智能控制等關鍵技術，開發(fā)多場輔助化學機械拋光裝備，實現原子級精度拋光，滿足半導體襯底應用需求。預期目標：到2026年，研制模塊化的多場輔助化學機械原子級拋光裝備，可以集成電、光、聲、等離子體等多場，拋光壓力調控精度0.1psi，拋光壓力分區(qū)數量6個，利用該設備對單晶硅襯底進行拋光，表面起伏小于10個原子層，滿足先進制程需求。
（二）高效團簇離子束原子級拋光裝備的研發(fā)及在大徑厚比金剛石光學窗口的加工應用揭榜任務：面向高功率激光系統(tǒng)、中長波紅外探測器等對原子級表面精度的金剛石窗口需求，突破氣體原子團簇束流中和關鍵技術，建立原子級超光滑金剛石表面制造方法，研制超硬金剛石團簇離子束原子級拋光裝備，實現大徑厚比金剛石光學窗口的原子級制造，并應用驗證。預期目標：到2026年，高性能、低成本的束流中和器自主可控，具有較高的中和效率，對Ar100團簇中和效率>50%，研制金剛石材料團簇離子束原子級拋光裝備，建立金剛石光學窗口納米級精度及原子級表面質量制造工藝，加工金剛石光學窗口直徑≥75mm、徑厚比≥100、表面面形精度PV≤λ/4、表面粗糙度Ra≤1nm，設備支持Ar/SF6等多種氣體團簇離子束、束流強度≥100μA、團簇束斑直徑0.5-10mm可調、團簇離子能量≥60keV，能夠支撐3英寸級金剛石光學窗口原子級可控制造。
（六）基于石墨烯原子制造技術制備高導熱低熱阻石墨烯熱界面材料揭榜任務：面向高功率器件的熱管理解決方案，基于原子制造技術，發(fā)展更高效的熱界面材料。以結構原子級精準的石墨烯材料，構筑器件熱源本體與散熱構件本體之間的熱通道，提高熱量傳遞效率，解決器件受力形變等核心關鍵技術問題，在高功率器件上驗證可靠性，并探索實現高效熱電轉換的可能。預期目標：到2026年，實現高導熱低熱阻的石墨烯熱界面材料規(guī)模生產，垂直導熱系數大于300W/m·K，熱阻小于0.05K·cm2/W，壓縮殘余應力小于30PSI（50%壓縮量），回彈率大于50%，系列產品在不少于10000個高功率器件上示范應用。
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