三星正在其第9代V-NAND的金屬化工藝過程中應(yīng)用鉬（Mo）。
消息人士稱，三星已從泛林集團(tuán)引進(jìn)5臺(tái)鉬沉積機(jī)用于該工藝，并且計(jì)劃明年再引進(jìn)20臺(tái)此類設(shè)備。
與六氟化鎢（WF6）不同的是，鉬前驅(qū)體是固體，需要使用這些設(shè)備將其加熱到600攝氏度，以轉(zhuǎn)化為氣體。
在三星的第9代V-NAND生產(chǎn)中，一種應(yīng)用使用鎢（W），另一種應(yīng)用使用鉬。三星在氧化物-氮化物-氧化物（ONO）結(jié)構(gòu)中使用鉬代替鎢。
鉬用于提高晶體管內(nèi)的電阻率，從而允許在NAND中堆疊更多層。
行業(yè)已經(jīng)達(dá)到使用鎢降低層高度的極限，使用鉬可以將層高進(jìn)一步降低30%~40%。使用鉬還可以降低NAND的延遲。
三星決定使用鉬意味著NAND材料價(jià)值鏈將經(jīng)歷一些變化。
三星正在從英特格（Entegris）和Air Liquide采購(gòu)鉬，而默克也已向芯片制造商提交樣品。
除了三星，SK海力士、美光和鎧俠也計(jì)劃在其NAND生產(chǎn)中采用鉬。
這意味著六氟化鎢市場(chǎng)將不可避免地萎縮。鉬的價(jià)格是六氟化鎢的十倍。韓國(guó)半導(dǎo)體材料公司SK Trichem、Hansol Chemical、Oceanbridge等也因此在開發(fā)鉬。
同時(shí)，除了NAND，鉬前驅(qū)體也有望用于DRAM內(nèi)存和邏輯芯片。
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